클린룸 (83102)

반도체공정연구실3 (81808)

반도체공정연구실4 (81815)

박막증착실험실 (81812)

세미나실 (81811)

연구실 (81809)

XPS 측정실 (81814)

식각특성실험실 (81810)

SEM 측정실