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[2021]
Semiconductor light emitting device and method for manufacturing the same
[2021]
C-free 할로겐 기반의 가스를 이용한 실리콘 산화막 대비 높은 식각 선택비를 갖는 실리콘 질화막 건식 식각 방법
[2021]
Plasma source and plasma generation apparatus using the same
[2021]
Ion beam etching apparatus
[2021]
펠리클 구조체 및 이의 제조방법
[2021]
나노입자 코팅 장치
[2021]
Semiconductor device, photoelectronic device, and method for manufacturing transition-metal dichalcogenide thin film
[2021]
광전 소자, 포토다이오드 및 포토트랜지스터
[2020]
건식 식각 방법 및 이에 사용되는 식각 전구체
[2020]
Apparatus for generating plasma and apparatus for treating substrate having the same
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