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[2012]
Inductively coupled plasma apparatus
[2012]
Apparatus and Method For Incorporating Composition Into Substrate Using Neutral Beams
[2011]
원자층 식각 장치 및 이를 이용한 식각 방법
[2011]
Atomic layer etching apparatus and etching method using the same
[2011]
Atomic layer deposition apparatus using neutral beam and method of depositing atomic layer using the same
[2010]
[해외 등록] Inductively coupled plasma processing apparatus for very large area using dual frequency
[2010]
[해외 등록] Neutral beam-assisted atomic layer chemical vapor deposition apparatus and method of processing substrate using the same
[2010]
[해외 등록] Plasma generating apparatus and method using neutral beam
[2010]
[해외 출원] Vertical structure semiconductor devices with improved light output
[2009]
[해외 출원] Apparatus and method for incorporating composition into substrate using neutral beams
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